伤害某半导补救器制造技术厂，晶圆加工制作具体步骤中存在含硅、氟的特异污水，的设计补救企业规模1200吨/日。污水材质很复杂，包含的nm级硅小粒及盐酸，经典补救方式得以不合格。 污废水 部分及主要来源 具体污染问题物 ：溶液硅（100-500nm粒度分布）、氟铝离子（200-300mg/L）、异丙醇 来原流程 ：晶圆刻蚀废水处理方法处理工艺（45%）、CMP药剂学机械设施制造抛光处理废水处理方法处理工艺（40%）、设施消毒水（15%） 正确处理生产工艺标准流程 改革创新通过"耐腐蚀沉淀自己+独特的膜区分"的技术风格： 钙盐乳浊液 ：污泥脱水氯化钙出掉氟阳离子（转换成CaF2石雕文化沉淀） 二沉池反馈 ：组合斜管沉淀池剂控制悬浊液硅脱稳 管式微滤 ：0.1μm孔的直径膜虚报冒领微细颗粒状 反融于控制系统 ：脱盐率>98%，二手回产出率75% 减压蒸馏凝结 ：浓水段实现目标氟化物污水处理技术物 终于效率 氟化物渗透压：<8mg/L（远低于一个国家1级标准的10mg/L） 硅含水量：<5mg/L 水环境资源回收率：70%使用保压塔保湿补水 危险废物减轻：多效蒸发渣子量较过去技术减掉60%