该晶圆产生厂是在华北地方,大部分生孩子85英寸半导体设备晶圆,每日焦化废水污染物量约800吨。因此生孩子历程中便用不少盐酸展开晶圆蚀刻,从而导致焦化废池中氟化物溶液浓度高达mg200-300mg/L,远超地区污染物标准单位(10mg/L这)。
废水处理的成分及因素
工业废水主耍来自五湖四海5个缓解:
晶圆蚀刻多种工序
:含高氧化还原电位氟化物(HF)、硝酸银及少量出天价属
检查是否设备拋光(CMP)废水处理
:含納米级硅粒状、有机酸络合剂
机械设备除垢生活污水
:含异丙醇、高锰酸盐指数等有机物
加工处理工艺设计步骤流程
用于"催化石雕文化沉淀物中+沥青混凝土石雕文化沉淀物中+程度进行过滤"三类处置整体:
五级除理
:加药系统氯化钙和氢空气氧化钙,养成氟化钙沉定,氟化物清理率达85%
下级治理
:加PAC(缔合氯化铝)和PAM(pe塑料酰胺),删去氢氧化铁态环境有机废气
三级分销办理
:经过多材质过滤程序器和亲水性炭吸附剂,出水出水氟化物溶液浓度比较稳定在8mg/L一些
根本设配有:pH一键调节器操作系统、斜管奠定池、板框设备(厌氧颗粒污泥脱水怎么办)。
结果功效
工作启用5年监测站数据信息出现:
氟化物均衡酸度:7.2mg/L(降到国内规范标准)
COD祛除率:92%
废水含水分率:≤65%
年收回氟化钙副物品约150吨,完成网络循环经济巧用