某半导体芯片厂在产出步骤中运行硝酸银系显影液液,带来高氨水浓度含NOx废气,日处里量50吨。废气中含NO2-达到2000mg/L,且包含有轻微有机酸光刻胶成份,处里分值较大的。
2. 废水处理工艺基本成分及来源地
成像制作工艺废弃物(核心影响源)
晶圆洗废水处理方法
尾气干洗塔室外排水
3. 净化处理工艺方案方案
选择"高层阳极氧化+有级菌物补救"技术创新新工艺:
臭氧的危害脱色
:实现三氧情况器会产生O3,将难吸附设计物分离为小分子结构的物质,的同时将NO2-氧化反应为NO3-。
怪物膜反馈器(MBR)
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第1级:缺氧怎么办工作环境下添加甲醇当作碳源,促使反反硝化作用不良反应
二、级:好氧微生物膜进一大步生物降解有机肥料物
分析化学反应深入治疗
:用钛基金属涂层探针,确认电解抛光能力完全彻底拆分残渣的有机废气。
4. 终究的效果
NOx总氮减至8mg/L之下
COD比较稳定在30mg/L以下
废渣回收利用率达60%
体统开机运行耗能掌握在3.5kWh/吨水,较传统与现代生产技术节能环保20%。